有线测压晶圆系统
有线测压晶圆系统由有线测压晶圆、采集仪、客户端软件组成，可精准测量晶圆表面的压力分布与压力响应，适用于多场景下的晶圆压力检测，是兼具高精度与实用性的压力测量设备。
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有线测压晶圆系统
产品概述
有线测压晶圆系统由有线测压晶圆、采集仪、客户端软件组成，可精准测量晶圆表面的压力分布与压力响应，适用于多场景下的晶圆压力检测，是兼具高精度与实用性的压力测量设备。
产品简介
1、量程大，非线性等核心指标优于0.1%FS，响应时间快;
2、高稳定、耐过压，适配真空/大气等环境；
3、采集速度快，精度高；
4、支持数据存储/导出（xlsx/csv），操作便捷。
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沪ICP备2023002235号
