技术指标
快速制冷，自动控制，1路控温，控温精度优于10mK。
客户
中国科学院上海光学精密机械研究所-集成电路工艺检测设备用超宽光谱光源
应用场景
先进的半导体工艺越来越复杂，集成电路制程对于缺陷和精度的检测要求越来越高;半导体检测设备是集成电路工艺中的核心设备，其中检测光源直接决定了性能和效率。
LDLS光源温度控制器
2025-04-25 10:29:17
技术指标
快速制冷，自动控制，1路控温，控温精度优于10mK。
客户
中国科学院上海光学精密机械研究所-集成电路工艺检测设备用超宽光谱光源
应用场景
先进的半导体工艺越来越复杂，集成电路制程对于缺陷和精度的检测要求越来越高;半导体检测设备是集成电路工艺中的核心设备，其中检测光源直接决定了性能和效率。
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