微型无线温度记录器
光刻系统是制造芯片的核心装备，其中温度的检测尤为重要，温度会影响光刻胶流动，从而影响光刻 的成品率。微型无线温度记录器体积微小，重量轻，携带方便。适用于曝光系统，光刻系统等的温度检测记录。
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微型无线温度记录器
产品概述
光刻系统是制造芯片的核心装备，其中温度的检测尤为重要，温度会影响光刻胶流动，从而影响光刻 的成品率。微型无线温度记录器体积微小，重量轻，携带方便。适用于曝光系统，光刻系统等的温度检测记录。
产品简介
1、体积微小、灵活通用；
2、温度准确度小于 10mK；
3、采用点对点无线通讯方式，响应时间短，可连续工作时间超过 10 天。
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