掩膜无线测温系统
掩膜无线测温系统用于电子束掩膜写入的温度监测、验证，因电子束在完全写入掩膜在较长时段内需 要极高的温度稳定性。该系统可连续不间断（最长 24 小时）收集温度数据，从而为确保掩膜系统温度稳定 性提供所需的数据。
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掩膜无线测温系统
产品概述
掩膜无线测温系统用于电子束掩膜写入的温度监测、验证，因电子束在完全写入掩膜在较长时段内需 要极高的温度稳定性。该系统可连续不间断（最长 24 小时）收集温度数据，从而为确保掩膜系统温度稳定 性提供所需的数据。
产品特点
1、体积小、精度高、采样速度快；
2、温度准确度优于 10mK；
3、采用点对点无线通讯方式，响应时间短。
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沪ICP备2023002235号
