测温晶圆标定用恒温槽
此款恒温槽针对测温晶圆标定所研发，区别于市面上的恒温槽，此款产品具有大开口，高稳定性与均 匀性，能满足各款测温晶圆的标定工作。
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测温晶圆标定用恒温槽
产品概述
此款恒温槽针对测温晶圆标定所研发，区别于市面上的恒温槽，此款产品具有大开口，高稳定性与均 匀性，能满足各款测温晶圆的标定工作。
产品特点
1、足够大的开口尺寸，可同时容纳标定测试多片 12 寸测温晶圆；
2、超高的稳定性以及均匀性，5℃ ~50℃全温度范围稳定性优于 ±1mK；
3、操作简便，产品可靠性高。
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沪ICP备2023002235号
