Wafer晶圆无线测温系统/ 半导体领域
Wafer晶圆无线测温系统可捕捉晶圆刻蚀工艺、环境对晶圆的影响,可在芯片制造的每个关键步骤中提供直接、实时的晶圆温度测量。借助这些全面的温度数据,工艺工程师可以表征和微调工艺条件,从而提高工艺设备性能、晶圆质量和产量。Wafer晶圆无线测温系统用于监测尖端产品生产工艺流程中温度变化情况,突破了技术封锁
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