微型无线温度记录器
光刻系统是制造芯片的核心装备，其中温度的检测尤为重要，温度会影响光刻胶流动，从而影响光刻的成品率。微型无线温度记录器体积微小，重量轻，携带方便。适用于曝光系统，光刻系统等的温度检测记录。
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微型无线温度记录器
产品概述
光刻系统是制造芯片的核心装备，其中温度的检测尤为重要，温度会影响光刻胶流动，从而影响光刻的成品率。微型无线温度记录器体积微小，重量轻，携带方便。适用于曝光系统，光刻系统等的温度检测记录。
产品特点
1. 体积微小、灵活通用；
2. 温度准确度小于10mK；
3. 采用无线通讯方式，响应时间短，可连续工作时间超过10天。
产品尺寸 | 长20mm×宽20mm×厚10mm |
温度范围 | 0℃ ~ 40℃ |
温度准确度 | ＜10mK（3σ） |
重复测量准确度 | ＜5mK（3σ） |
传感器响应时间 | ≤1s |
采集频率 | Max.1Hz |
连续工作时间 | ≥10days |
通讯方式 | Wifi |
保修期 | 1年 |
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沪ICP备2023002235号
